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Instandhaltung & Wartung

Reinraum Wartung für Produktionsanlagen der Halbleiterindustrie

Als externer Partner übernimmt maintech die präventive Wartung, Reinigung und Kalibrierung für Fertigungsanlagen in sensiblen Reinraumumgebungen der Halbleiterindustrie.

Kontakt

Unser Service im Bereich Reinraum Wartung

maintech_Präventive und geplante Wartung

Präventive und geplante Wartung für den 
24/7-Betrieb


Unsere Reinraum Wartung folgt einem festgelegten Wartungsplan (Preventive Maintenance). Sie sichert die technische Verfügbarkeit Ihrer Anlagen, bevor Störungen entstehen. 

Die Abläufe sind auf Hochverfügbarkeitsumgebungen ausgelegt und lassen sich mit Ihrem Produktionsplan abstimmen, damit ungeplante Stillstände ausbleiben.

maintech_Projekterfahrung an Lithographie-, Etch-, CVD-, PVD- und Ionenimplantationsanlagen

Projekterfahrung an Lithographie-, Etch-, CVD-, PVD- und Ionenimplantationsanlagen

Unser Team bringt praktische Erfahrung an marktführenden Anlagentypen der Halbleiterfertigung mit, von Lithographie-Systemen über Ätzanlagen wie AMAT DPS, MXP und Super E, LAM Etch-Plattformen sowie TEL Tactras und Unity. Bei der Schichtabscheidung kennen wir die LAM Altus-Serie für die Wolfram-CVD ebenso wie PVD-Systeme für Metallisierungsprozesse (Ti/TiN, Ta/TaN, Aluminium/Kupfer). Ionenimplantierer sowie Öfen für Oxidation, Diffusion, Annealing und LPCVD gehören ebenfalls zu unserem Einsatzgebiet, im 200mm- wie im 300mm-Bereich. Der Kern unseres Teams ist in der nasschemischen Reinigung (Wet Cleans) im Einsatz.

maintech_ERP Integration

Reinraumklassen und Integration in 
Ihre Systeme


Unsere Techniker arbeiten operativ in Reinraumklassen von ISO 3 bis ISO 6 nach ISO 14644-1 und kennen die Verhaltensregeln und Kontaminationskontrollen dieser Umgebungen. Für die Wartungsdokumentation arbeiten wir direkt in Ihrem MES- oder ERP-System und folgen Ihren etablierten SOPs. Das schafft Transparenz und verhindert Schnittstellenverluste mit Ihrem Engineering-Team.

Ihre Vorteile 

maintech verbindet reale Anlagenerfahrung mit strukturierten Wartungsprozessen für die Halbleiterindustrie. Das reduziert technische Risiken und sichert die Verfügbarkeit Ihrer Produktionsanlagen.

Reale Erfahrung entlang der Prozesskette

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Einsatz in ISO 3 bis ISO 6 Reinraumklassen

Techniker, die mit den Anforderungen anspruchsvoller Reinraumklassen nach ISO 14644-1 vertraut sind. 

Direkte Integration in Ihr MES- oder ERP-System

Wartungsdokumentation direkt in Ihren bestehenden Systemen, nach Ihren SOPs, für lückenlose Transparenz im 24/7-Betrieb. 

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maintech_Reinraum-Wartung für Anlagen

Infineon - ein Kunde der maintech service

Referenz

Reinraum Wartung als Komplettpaket für Infineon 

Infineon Technologies zählt mit weltweit rund 57.000 Beschäftigten und einem Jahresumsatz von rund 14,7 Milliarden Euro zu den führenden Halbleiterherstellern der Welt. Das Unternehmen entwickelt Lösungen für Power Systems und das Internet der Dinge und treibt damit Dekarbonisierung und Digitalisierung in Bereichen wie Automotive, Industrie, Energieinfrastruktur und Rechenzentren voran. Am Standort Dresden hat Infineon im Sommer 2026 die weltweit größte Fabrik für Leistungshalbleiter sowie Analog- und Mixed-Signal-Technologien eröffnet. Hier entstehen künftig zentrale Komponenten für Energieinfrastruktur, Elektromobilität und KI-Rechenzentren, in einer der modernsten Reinraumumgebungen der Branche. Am Hauptsitz auf dem Campeon-Campus in Neubiberg bei München betreibt Infineon seinen größten Forschungs- und Entwicklungsstandort, ebenfalls mit eigenen Reinraumflächen für die Technologieentwicklung.

maintech übernimmt an beiden Standorten das komplette Portfolio der Reinraum Wartung: laufende präventive Wartung, Reinigung und Kalibrierung der Anlagen im Reinraum, durchgängig und aus einer Hand. Als spezialisierter Partner für die Halbleiterindustrie sorgt maintech dafür, dass sowohl die Großserienfertigung in Dresden als auch die Entwicklungsumgebung in München zuverlässig und normenkonform laufen, mit einheitlichen Qualitätsstandards über beide Standorte hinweg.

Sie möchten Reinraum Wartung für Ihre Halbleiter-Anlagen strukturiert und normenkonform umsetzen.

Dann sprechen Sie mit uns über Ihre Anforderungen.

Ob Reinraum, Bestandsanlage, auditrelevante Prüfstruktur oder technische Unterstützung im laufenden Betrieb: Wir begleiten Sie mit klarem Prozessverständnis und belastbarer Umsetzung.


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Häufig gestellte Fragen zu Reinraum Wartung

Präventive und geplante Wartung, Reinigung und Kalibrierung von Fertigungsanlagen wie Lithographie-, Etch-, CVD- und PVD-Systemen sowie Öfen, direkt im Reinraum und im laufenden Produktionsbetrieb.
Lithographie-Systeme, Etcher wie AMAT DPS, MXP und Super E, LAM Etch-Plattformen und TEL Tactras/Unity, CVD-Anlagen wie LAM Altus für die Wolfram-Abscheidung, PVD-Systeme wie AMAT Endura für Metallisierungsprozesse, Ionenimplantierer sowie Furnace-Systeme für Oxidation, Diffusion und Annealing. Der Kern des Teams ist in der nasschemischen Reinigung tätig.

Die Techniker arbeiten operativ in Reinraumklassen von ISO 3 bis ISO 6 nach ISO 14644-1, mit Erfahrung im 200mm- und im 300mm-Bereich.

Die Techniker arbeiten direkt in den bestehenden Systemen der Kunden und folgen den etablierten SOPs. Das sichert lückenlose Dokumentation und Zusammenarbeit mit dem internen Engineering-Team ohne Schnittstellenverluste.

Reinraum Wartung umfasst die planmäßige, präventive Wartung und Kalibrierung der Anlagen. Der Austausch von Verschleißteilen wie Dichtungen oder Fokusringen sowie die Spezialreinigung von Kammerteilen sind eigenständige Leistungen mit eigenem Ablauf.

Ja. Die Wartungsprozesse sind auf Hochverfügbarkeitsumgebungen ausgelegt und werden mit dem Produktionsplan der Kunden abgestimmt, um ungeplante Stillstände zu vermeiden.
Reinraum Wartung umfasst die planmäßige Reinigung, Kalibrierung und Instandhaltung der Fertigungsanlagen. Die Anlagenprüfung stellt die normenkonforme Prüfung und Prüfkoordination in Hochverfügbarkeitsumgebungen sicher, das ist eine eigenständige Leistung mit eigenem Ablauf.