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Inspektion & Prüfung

Thermografie

Erweitern Sie Ihre Kapazitäten: maintech übernimmt die thermografische Prüfung elektrischer Anlagen und Prozessperipherie in der Halbleiterfertigung.

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Unser Service im Bereich Thermografie für die Halbleiterindustrie

Thermografie in der Halbleiterfertigung

Thermografie in der Halbleiterfertigung

In Reinräumen und Fertigungsumgebungen der Halbleiterindustrie laufen elektrische Anlagen und Prozessperipherie im Dauerbetrieb. Schaltschränke, Verteilungen und Stromversorgungen für Ätzanlagen, CVD- und PVD-Beschichtungsanlagen, Lithographie-Systeme und Ionenimplantierer sind hoher Last und permanenter Beanspruchung ausgesetzt.
Thermografie macht thermische Auffälligkeiten sichtbar, bevor sie zu einem Ausfall führen. Mit Infrarotmesstechnik erfassen wir Temperaturverteilungen an elektrischen Komponenten und Verbindungen, ohne die Anlage zu öffnen oder den Betrieb zu unterbrechen.


Wann eine thermografische Prüfung sinnvoll ist

Wann eine thermografische Prüfung sinnvoll ist

Thermografische Prüfungen ergänzen die DGUV V3 Prüfung und die MSR-Wartung um eine zustandsorientierte Diagnoseebene. Sie eignen sich für wiederkehrende Prüfintervalle an Schaltschränken und Verteilungen, für die Kontrolle nach Lasterhöhungen oder Erweiterungen der Anlagentechnik und für die vorbereitende Diagnose vor geplanten Wartungsfenstern.

In 24/7-Produktionsumgebungen der Chipfertigung lässt sich die Prüfung in den laufenden Betrieb integrieren. Eine Abschaltung der Anlagen ist nicht erforderlich.


Ablauf der thermografischen Prüfung bei maintech

Ablauf der thermografischen Prüfung bei maintech

Wir erfassen die Temperaturverteilung an den vereinbarten Prüfpunkten mit kalibrierter Infrarotmesstechnik und werten die Messwerte im Abgleich mit den zulässigen Grenzwerten aus. Auffälligkeiten dokumentieren wir mit Thermografiebild, Messwert und Handlungsempfehlung.

Die Ergebnisse übernehmen wir auf Wunsch in Ihre digitale Wartungsdokumentation und nutzen sie als Grundlage für die Instandhaltungsoptimierung Ihrer Anlagen.

Ihre Vorteile 

maintech prüft thermografisch dort, wo Betriebssicherheit und Anlagenverfügbarkeit in der Halbleiterfertigung zusammenhängen.

Frühzeitige Fehlererkennung

Thermische Auffälligkeiten an Schaltschränken, Verteilungen und Prozessperipherie werden sichtbar, bevor sie zu ungeplanten Stillständen führen. 

Prüfung ohne Betriebsunterbrechung

Die Messung erfolgt berührungslos und im laufenden Betrieb. Ihre Produktion läuft während der Prüfung weiter. 

Auditfeste Dokumentation

Jede Prüfung liefert eine nachvollziehbare Dokumentation als Nachweis für Gefährdungsbeurteilung und interne wie externe Audits. 

Jetzt maintech kennenlernen
maintech service tätig für die Halbleiterindustrie

Tokyo_Electron - ein Kunde der maintech service

Referenz

Tokyo Electron Dresden: Thermografie-Prüfung 

Tokyo Electron Europe Limited, deutsche Niederlassung mit Sitz in Dresden, gehört zu den führenden Herstellern von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie und ist Mitglied im Netzwerk Silicon Saxony. Das rund 150-köpfige Dresdner Team entwickelt, produziert und vertreibt Ätz- und Beschichtungsanlagen, Vertikalöfen und Reinigungssysteme und unterstützt Chiphersteller vor Ort sowie in ganz Europa mit Service und Applikationstechnik, ein Knotenpunkt für die sächsische Halbleiterindustrie. Für die elektrischen Anlagen am Standort führt maintech die DGUV V3 Prüfung und die begleitende Thermografie-Prüfung durch. Die thermografische Untersuchung der Schaltschränke ergänzt die normative Prüfung um eine zustandsorientierte Diagnoseebene und trägt zur Betriebssicherheit im laufenden 24/7-Betrieb bei.

ASML - ein Kunde der maintech service

Referenz

ASML Dresden: Thermografie-Prüfung im Werk 

ASML Germany mit Standort in Dresden gehört zum börsennotierten niederländischen Technologiekonzern ASML, der komplexe Lithografiesysteme für die Chipherstellung entwickelt und als integraler Bestandteil der globalen Halbleiter-Lieferkette gilt. Am Dresdner Standort verantwortet das Team den Customer Support für ASML Kunden in ganz Deutschland und entwickelt zugleich die nächste Generation von Analysesoftware, ein zentraler Knotenpunkt für die Anlagenverfügbarkeit europäischer Chipfabriken und damit für den Halbleiterstandort Sachsen. maintech führt an den elektrischen Anlagen des Standorts die DGUV V3 Prüfung sowie die begleitende Thermografie-Prüfung durch. Die thermografische Untersuchung der Schaltschränke deckt thermische Auffälligkeiten frühzeitig auf und sichert die Verfügbarkeit im laufenden Betrieb.

Unsere News im Bereich Inspektion und Prüfung

Bleiben Sie mit unseren News & Blogposts auf dem Neusten Stand.

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Thermografie für Ihre Halbleiterfertigung: Sprechen Sie mit uns über Ihre Prüfanforderungen.

Ob Schaltschränke, Prozessperipherie oder MSR-Infrastruktur: Wir prüfen thermografisch im laufenden Betrieb und liefern eine auditfeste Dokumentation.

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Häufig gestellte Fragen zu Thermografie

Thermografie ist ein berührungsloses Messverfahren, das mit Infrarottechnik Temperaturverteilungen an elektrischen und technischen Komponenten sichtbar macht. In der Halbleiterindustrie prüfen wir damit Schaltschränke, Verteilungen und die Stromversorgung von Prozessanlagen auf thermische Auffälligkeiten.
Wir prüfen elektrische Verteilungen, Schaltschränke, Kabelverbindungen sowie die Stromversorgung von Ätzanlagen, CVD- und PVD-Beschichtungsanlagen, Lithographie-Systemen und Ionenimplantierern. Den genauen Prüfumfang stimmen wir mit Ihnen auf Ihre Anlagenkonfiguration ab.

Nein. Die Thermografie ersetzt die DGUV V3 Prüfung nicht, sondern ergänzt sie um eine zustandsorientierte Diagnoseebene. Während die DGUV V3 Prüfung normative Sicherheitsanforderungen abdeckt, macht die Thermografie thermische Auffälligkeiten sichtbar, die bei einer Sichtprüfung nicht erkennbar sind.

Ja. Die Messung erfolgt berührungslos, ohne Abschaltung und ohne Unterbrechung der Produktion. Das macht sie auch für 24/7-Fertigungsumgebungen in der Halbleiterindustrie geeignet.

Das hängt von Auslastung, Anlagenalter und den Ergebnissen vorheriger Prüfungen ab. Wir empfehlen ein regelmäßiges Prüfintervall, das wir gemeinsam mit Ihnen anhand Ihrer Anlagenkonfiguration und Ihrer Gefährdungsbeurteilung festlegen.

Relevant sind unter anderem die Betriebssicherheitsverordnung (BetrSichV), die TRBS 1201 sowie die DGUV Vorschrift 3. Die Thermografie unterstützt die Gefährdungsbeurteilung und liefert Nachweise für die sichere Betriebsführung elektrischer Anlagen.

Die MSR-Wartung prüft die Funktion von Sensoren, Steuerungen und Stellgliedern. Die Thermografie erfasst dagegen thermische Zustände an elektrischen Verbindungen und Komponenten. Beide Verfahren ergänzen sich und liefern zusammen ein vollständigeres Bild des Anlagenzustands.