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Inspektion & Prüfung

Anlagen- und Maschinenprüfung

Prüfkonzepte für ortsfeste Produktionsanlagen in der Chipfertigung: maintech verantwortet Durchführung und Dokumentation im laufenden 24/7-Betrieb.

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Unser Service im Bereich Anlagen- und Maschinenprüfung für die Halbleiterindustrie

Anlagen- und Maschinenprüfung nach klarem Prüfablauf

Anlagen- und Maschinenprüfung nach klarem Prüfablauf

Die DGUV V3 Prüfung komplexer Fertigungsanlagen in der Halbleiterindustrie folgt bei uns einem festen Dreischritt: Sichtprüfung, Erproben und Messen. Jedes Tool untersuchen wir anhand eines standardisierten Prüfprotokolls und takten die Prüfung nahtlos in Ihre Wartungsfenster ein, auch im durchgehenden 24/7-Betrieb.

Bei der Sichtprüfung kontrollieren wir den mechanischen Zustand von Anlage und Schaltschränken, die Verlegung und Isolierung aller Zuleitungen sowie Kennzeichnungen und Schaltpläne. Beim Erproben testen wir Sicherheitsschaltungen, Not-Halt-Kette, Schutztüren und Meldesysteme im aktiven Betrieb. Beim Messen erfassen wir mit kalibrierten Messgeräten Schutzleiterwiderstand, Isolationswiderstand, Schleifenimpedanz und Netzimpedanz, ohne die sensible Elektronik der Anlage zu belasten.


Risikobewertung und lückenlose Mängeldokumentation

Risikobewertung und lückenlose Mängeldokumentation

Festgestellte Abweichungen bewerten wir nach einem festen Kennbuchstaben-System: S für Sicherheitsmängel, die sofort zu beheben sind, M für sicherheitsrelevante Mängel mit zeitnahem Handlungsbedarf, B für Mängel, die wir bereits während der Prüfung beheben, und I für Empfehlungen zur Optimierung. Jede Feststellung erfassen wir mit laufender Nummer, Tool-Standort, Zeitstempel und Bearbeitungsstatus, auf Wunsch direkt in Ihrem SAP-System.
Diese Struktur schafft eine belastbare Arbeitsgrundlage nach BetrSichV § 10 und DIN VDE 0105-100. Ihre Instandhaltungsabteilung plant Reparaturen vorausschauend und vermeidet ungeplante Produktionsausfälle im 24/7-Betrieb.
Rechtssichere Nachweisführung direkt am Tool

Rechtssichere Nachweisführung direkt am Tool

Jede geprüfte Anlage erhält eine fälschungssichere Prüfplakette mit Prüfmonat, eindeutiger Zähl-ID und der Registriernummer des akkreditierten Kalibrierlabors nach DIN EN ISO/IEC 17025. Der zugehörige Prüf- und Messbericht bestätigt die Konformität nach BetrSichV, DGUV Vorschrift 3, DIN EN 60204-1 (VDE 0113-1), DIN VDE 0100-600 und 0105-100 sowie nach der SEMI-S2-Bewertung für Halbleiteranlagen.

Für Sie als Betreiber bedeutet das eine dokumentierte Sorgfaltspflicht und Auditsicherheit bei ISO 9001, ISO 45001 oder SEMI-S2-Bewertungen: Jedes Tool ist über seine Zähl-ID nachvollziehbar, jede Feststellung dokumentiert und jeder Prüfer mit Namen und Datum erfasst.


Ihre Vorteile 

maintech verbindet normgerechte Anlagen- und Maschinenprüfung mit Prüfkoordination, die auf durchgehende Produktion ausgelegt ist. Für Sie bedeutet das lückenlose Sicherheit ohne unnötige Stillstandszeiten.

Prüfung ohne unnötige Produktionsunterbrechung

Wir takten Sichtprüfung, Erproben und Messen in bestehende Wartungsfenster ein und stimmen Prüftermine mit Ihrer Produktionsplanung ab, auch im 24/7-Betrieb. 

Rechtssichere Dokumentation

Jede Feststellung erfassen wir mit Kennbuchstaben-System, Zeitstempel und Tool-Standort, auf Wunsch direkt in Ihrem SAP-System, als belastbare Arbeitsgrundlage nach BetrSichV und DGUV Vorschrift 3. 

Auditfeste Prüfnachweise

Prüfplakette, Prüfbericht und Konformitätsnachweis nach DIN EN 60204-1, DIN VDE 0105-100 und SEMI S2 liegen Ihnen für interne und externe Audits jederzeit vor. 

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maintech_Anlagen- und Maschinen-prüfungen

Hitachi - ein Kunde der maintech service

Referenz

Anlagen- und Maschinenprüfung bei Hitachi Krefeld 

Hitachi High-Tech Europe steuert von seiner Europazentrale in Krefeld aus das Geschäft mit Halbleiter-Fertigungsanlagen und wissenschaftlichen Instrumenten: Ätzanlagen, CD-SEM- und Defect-Inspection-Systeme sowie Elektronenmikroskope für Forschung und Chipfertigung. Als Teil des japanischen Hitachi-Konzerns beliefert das Unternehmen Halbleiterhersteller und Forschungseinrichtungen in ganz Europa mit Prozess- und Analysetechnik. Für die elektrischen Produktionsanlagen am Standort Krefeld übernimmt maintech die Anlagen- und Maschinenprüfung nach DGUV V3, vom Dokumentenabgleich über die Sichtprüfung bis zur Messung von Schutzleiter- und Isolationswiderstand. Eine begleitende Thermografie-Prüfung deckt zusätzlich Übergangswiderstände und ungleichmäßige Lastverteilung in den Schaltschränken auf, bevor daraus ein Ausfall wird.


LAM Research - ein Kunde der maintech service

Referenz

Anlagen- und Maschinenprüfung bei Lam Research 

Lam Research zählt zu den weltweit führenden Anbietern von Fertigungslösungen für die Halbleiterindustrie und entwickelt Anlagen für Ätz-, Beschichtungs- und Reinigungsprozesse in der Wafer-Fertigung. Der Standort Dresden ist als Teil des Clusters Silicon Saxony fest in der sächsischen Halbleiterlandschaft verankert und beliefert Kunden in ganz Europa mit Prozesslösungen und technischem Support. Für die ortsfesten Produktionsanlagen vor Ort führt maintech die Anlagen- und Maschinenprüfung nach DGUV V3 durch: Dokumentenabgleich, Sichtprüfung, elektrische Messungen und Funktionsprüfung der Sicherheitseinrichtungen, rechtssicher dokumentiert im Prüfprotokoll. Ergänzend begleitet maintech Lam Research mit einer Thermografie-Prüfung der Schaltschränke, die thermische Auffälligkeiten frühzeitig sichtbar macht.

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Dann sprechen Sie mit uns über Ihre Anforderungen.

Ob laufende Fertigungslinie, anstehender Prüftermin oder auditrelevante Prüfstruktur: Wir begleiten Sie mit klarem Prozessverständnis und belastbarer Umsetzung.

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Häufig gestellte Fragen zu Anlagen- und Maschinenprüfung

Im messtechnischen Prüfschritt erfassen wir Schutzleiterwiderstand, Isolationswiderstand, Schleifenimpedanz und Kurzschlussstrom, Netzimpedanz sowie Spannung und Frequenz. Diese Werte zeigen, ob Schutzleitersystem, Isolierung und vorgeschaltete Sicherungen im Fehlerfall zuverlässig und schnell genug abschalten, ohne die empfindliche Elektronik der Anlage zu belasten.
Die Prüfung darf nur eine befähigte Person im Sinne der TRBS 1203 durchführen, in der Regel eine Elektrofachkraft mit elektrotechnischer Ausbildung, praktischer Erfahrung und kalibrierter Messtechnik. Unsere Prüfer erfüllen diese Anforderungen und sind mit den besonderen Sicherheitsanforderungen der Halbleiterfertigung vertraut.

Die Norm verlangt eine Prüfung in drei Schritten, Sichtprüfung, Erproben und Messen, sowie die lückenlose Dokumentation der Ergebnisse in einem Prüfprotokoll. Sie gilt für ortsfeste elektrische Anlagen und legt fest, dass Mängel erfasst, bewertet und nachvollziehbar behoben werden.

Als Richtwert gilt für ortsfeste Anlagen ein Prüfintervall von vier Jahren, in Bereichen mit erhöhter Gefährdung verkürzt es sich auf ein Jahr. Die tatsächliche Frist legt die Gefährdungsbeurteilung des Betreibers fest. Bei Produktionsanlagen im 24/7-Betrieb der Halbleiterfertigung ist ein kürzeres Intervall häufig sinnvoll. Wir beraten Sie zur passenden Prüfplanung für Ihre Tools.

Wir bewerten jeden Mangel nach einem festen Kennbuchstaben-System. Kategorie S steht für Sicherheitsmängel, die sofort zu beheben sind, Kategorie M für Mängel mit zeitnahem Handlungsbedarf, Kategorie B für Mängel, die wir bereits während der Prüfung beheben, und Kategorie I für Optimierungsempfehlungen. Jede Feststellung dokumentieren wir mit laufender Nummer, Standort und Status.

Wir stimmen Prüftermine mit Ihrer Produktionsplanung ab und takten Sichtprüfung, Erproben und Messen in bestehende Wartungsfenster ein. So bleibt Ihre Fertigungslinie während der Prüfung so weit wie möglich in Betrieb, Prüfkoordination und Dokumentation laufen parallel zur laufenden Produktion.

Die Anlagen- und Maschinenprüfung konzentriert sich auf die ortsfesten Produktionsanlagen selbst, also die Tools in Ihrer Fertigungslinie, und deren Verfügbarkeit im 24/7-Betrieb. Unsere DGUV V3 Prüfung im Reinraum deckt zusätzlich ortsveränderliche Betriebsmittel im Reinraum ab und ist auf die besonderen Anforderungen der Reinraumumgebung ausgelegt. Beide Prüfungen lassen sich koordiniert planen.